仪器简介：

型号：S-3400

制造厂家：日本日立公司

购置时间：2012/12/10

主要功能及特色

用于对材料的微观形貌、组织和成分进行有效分析。

配备有阴极荧光（cathodeluminescence）附件，可以测试阴极荧光光谱和荧光面分布。

配备有能谱仪（EDS）附件，可以定性半定量测试样品中元素种类及含量，实现点、线、面扫描。

主要规格及技术指标

SE分辨率:3.0nm (30kV)，高真空模式;10nm (3kV)，高真空模式

BSE分辨率:4.0nm (30kV)，低真空模式

放大倍率:x5 ~ x300,000

加速电压:0.3 ~ 30 kV

低真空范围:6 ~ 270 Pa

主要附件及配置

阴极荧光光谱仪，型号MP-micro-s

能谱仪，型号X-MaxN 20

文章标注要求

SEM (Hitachi, S3400)

Cathodoluminescence Spectrometer (Horiba, MP-micro-s)

EDS (Oxford, X-MaxN 20)

计费信息

按测试机时计费。