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超高真空多组元纳米膜层沉积系统（磁控溅射）

联系方式

  • 仪器主管：王琦
  • 放置地点：格致楼1034
  • 联系电话：15352021117
  • 联系邮箱：wangqi77@lzu.edu.cn
  • 预约测试：

仪器简介：

型号：JDP560

制造厂家：沈阳科学仪器股份有限公司

购置时间：2013年

主要规格及技术指标

真空度10-6Pa

1000W直流电源

500W射频电源

室温到500℃衬底温度

主要功能及特色

能实现金属、半导体、绝缘材料溅射沉积

主要附件及配置

2台射频电源；1台直流电源

2英寸样品托

靶材3英寸

文章标注要求

无

计费信息

按机时计费

校内链接

校外链接

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