仪器简介：

型号: Cypher IDS

制造厂家: 牛津仪器

购置时间: 2023年9月

主要规格及技术指标

1. 扫描基本参数

最大扫描区域30 μm×30 μm

线扫描速度可达 60 Hz。

XY轴闭环噪音<60 pm; Z轴闭环噪音<60 pm; 系统高度噪音<15 pm。

2. 激光干涉探测

带宽1 kHz~2.5 MHz, 最大可测量振幅>1 μm,光斑<5 μm, 探测本底噪音<200 fm/rtHz。

3. 蓝光激光驱动

激光波长405 nm, 光斑<50 μm, 功率五个档位: 0.1 mW, 0.3 mW, 1 mW, 3 mW和10 mW。

4. 电流检测

高灵敏电流检测范围1 pA~20 nA; 大量程电流检测上限10 μA。

5. 扫描电容检测

交流信号电压0.1-5 V, 频率10~100 kHz, dC/dV 相位空间分辨率小于20 nm。

6. 扫描热检测

最高可检测温度>500°C, 温度灵敏度<0.1℃, 空间分辨率< 500 nm。

主要功能及特色

设备能够原位表征样品表面的形貌及其力学/铁电/压电/磁学/电容/导电等物理特性, 特别对样品表面振动信号的表征精度非常高。

主要附件及配置

无

文章标注要求

Cypher IDS

计费信息

按测试机时收费。