仪器简介

型号：SU8600，Symmetry S3，Ultim Max 170

制造厂家：日立株式会社

购置时间：2024年4月

主要规格及技术指标

1. 冷场扫描电子显微镜（SU8600）：分辨率0.6 nm，放大倍率20至100万倍，最大样品尺寸150 mm。

2. EBSD 探测器（Symmetry S3）：CCD相机分辨率1244×1024，极限速度870 Hz，空间分辨率2 nm，角分辨率优于0.1。

3. EDS 探测器（Ultim Max 170）：能量分辨率127 eV，最大计数率1.5 Mcps，元素检测范围Be-Cf，探测器面积40~170 mm。

主要功能及特色

系统集成CFE-SEM、EBSD和EDS的测量功能，提供了全面的显微和微观组织表征，包括：高分辨显微图像、相鉴定、相分布、晶粒尺寸数据、晶界表征、织构（晶体择优取向的程度）、局部应变变化等。

1. 该设备具有超高的二次电子分辨率，达到0.6nm。采用E×B技术，可以实现低电压背散射相片的获得。

2. 配有牛津先进的EBSD 探测器 Symmetry S3，实现电子衍射背散射信号的快速获取，具备样品的大面积拼接功能。

3. 配备了170mm大面积EDS探测器，实现EDS的快速采集。在超大放大倍数下，仍可实现元素面分布测量。

4. 集成5 kV元素分析数据库，低压下可进行元素分析。

主要附件及配置

日立SU8600扫描电子显微镜、牛津EDS与EBSD。

文章标注要求

Hitachi SU8600 FE-SEM

计费信息

按测试机时收费。