仪器简介：

型号：AXIS SUPRA⁺

制造厂家：Kratos Analytical

购置时间：2024年10月

主要规格及技术指标

1.分析室极限真空：5×10^-10 torr，进样室极限真空：5×10^-9 torr；

2.单色化X射线源：Al/Ag双阳极（Al kα: 0.25 eV，最大功率600 W）；

3. XPS能量分辨和灵敏度：大束斑（700×300 μm²，0.6 eV@2500 kcps）；中束斑（Φ110 μm，0.6 eV@500 kcps；小束斑（Φ15μm，0.6 eV@6 kcps）；

4. UPS能量分辨和灵敏度：120 meV@Ag费米边，Ag 4d峰优于1Mcps；

主要功能及特色

        AXIS SUPRA⁺ X射线光电子能谱仪可实现固体材料表面几个原子层（1-10 nm）的化学组成、价态，深度剖析及成像等表征技术与分析研究，可检测除氢和氦以外的所有元素，检测限约0.1 at%。具有优秀的大束斑能量分辨和灵敏度，同时兼顾小束斑能量分辨率和灵敏度指标。整套系统具备单色化XPS、小面积XPS、深度剖面XPS分析、角分辨XPS、成像XPS、UPS（紫外光电子能谱）等功能及气氛敏感样品传递装置，同时可进行变温和电学的原位XPS测量。

主要附件及配置

1.紫外光电子能谱UPS

2.氩离子枪清洗与刻蚀

3.气氛敏感样品传递器

4.原位变温样品台

5.原位电学样品台

文章标注要求

例: Kratos Analytical AXIS SUPRA⁺ X-ray Photoelectron Spectrometer.

计费信息

按测试机时计费或计费标准。

计费信息

按测试机时计费或计费标准。